投影物镜相关论文
提出了一种新的光刻机投影物镜像差原位检测(AMF)技术。详细分析了该技术利用特殊测试标记检测投影物镜球差、像散、彗差的基本原......
投影物镜波像差在线检测技术是极紫外光刻(EUVL)实现32 nm及其以下技术节点的关键技术,对于光刻机的整机集成具有重要研究意义和实......
设计了一种在发光二极管(LED)光源照明下,基于4f信息处理系统的光栅光调制器的投影物镜。对经光栅光调制器的衍射光进行滤波处理,......
提出一种利用基于数字微反射镜装置（DMD）的数字光刻系统制作掩模版的方法。通过制图软件制作出二元光栅、菲涅耳波带片等衍射光学元......
提出一种基于空间像峰值光强差的光刻投影物镜奇像差测量技术。根据Hopkins部分相干成像理论,推导双缝图形空间像光强分布以及峰值......
提出一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法。根据Hopkins矢量部分相干成像理论,推导了投影物镜含有偏振像差时交替型相......
提出了一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法。通过对空间像进行统计分析,获取空间像的噪声模型和噪声标准差模型。......
提出一种基于阶梯相位环空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差检测方法。通过对相位环空间像进行主成分分析和多元线性回归分析,......
提出一种分析线性偏振照明条件下投影物镜偏振像差对交替相移掩模(Alt-PSM)空间像影响的解析方法。基于矢量光刻成像理论,从掩模空......
恒温水套是光刻物镜工作环境温度控制系统的重要组成部分。为了研究恒温水套的关键参数与性能,设计了一个小比例水套模型。恒温温......
从理论上系统性地研究了动态气体锁抑制率,提出了动态气体锁理论分析模型。通过理论分析推导出单组分和多组分清洁气体在等截面或......
Ptychography是一种基于扫描式相干衍射成像的相位恢复技术,实验装置简单,抗干扰能力强。将Ptychography技术用于投影物镜波像差的......
本文提出了一种可用于集成电路装配和质量控制的、带有双投影物镜和全息光学元件散射全息屏幕的投影型全息显微镜(PHM)系统。介绍......
相移点衍射干涉仪(PS/PDI)的绝对测量精度和重复精度都直接受干涉仪装调误差的影响,因此采用具有高灵敏度的计算机辅助装调技术进......
介绍了一种空间三自由度纳米定位平台,其应用背景为光刻投影物镜波像差检测系统的精密对准,因此对定位精度和定位速度都提出了很高......
相比传统角膜曲率仪引入双像棱镜进行角膜屈光度的测量,提出一种新型的基于光标成像原理的角膜曲率仪光学系统,其结构紧凑,操作简......
为了满足光刻投影物镜对轴向调节机构的调节行程大、精度高、结构紧凑等需求，基于三角形换向原理，设计了轴向调节机构。在调节机构中......
浸没式光刻技术是将某种液体充满投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片之间来增加系统的数值孔径，可以将193nm光刻延伸到45nm节点以......
在高数值孔径、低工艺因子的光刻技术中,投影物镜彗差对光刻质量的影响变得越来越突出,因而需要一种快速、高精度的彗差原位测量技......
该文主要集中于光学引擎的分析和改进,以及照明系统的设计.主要研究工作如下:1)分析和设计了两种实用的均匀照明系统:透镜阵列系统......
基于DLP(数字光处理)技术的新型投影系统已被开发出来，该系统的核心器件是美国德州仪器生产的DMD(数字微镜器件)。该技术采用二......
数字光刻技术能影响到大面积印制电路板、TFT-LCD、微光学元器件、太阳能电板等高科技产业的产品质量和成本，最终影响到产品商业竞......
在半导体技术中,为增加器件集成度,需要按照摩尔定律不断推进到新的工艺节点,其核心问题在于如何提升光刻分辨率。在主流工艺波长......
全芯片多参数联合优化是光刻分辨率增强技术的重要发展方向。提出了一种基于粒子群优化(PSO)算法的光源掩模投影物镜联合优化(SMPO......
介绍了分步重复投影光刻机亚半微米光刻物镜光学和机械结构研究设计、设计结果,以及公差控制.指出技术指标已达到:数值孔径NA=0.63......
本文概述了极紫外光刻技术的发展,阐明了极紫外光刻技术的特点,说明了极紫外光刻的关键光学技术.极紫外光刻中光学元件的评价需要......
为了实现结构紧凑的三片式LCOS投影系统的设计，首先介绍了三片式反射式硅基液晶（LCOS）投影系统成像工作原理和结构紧凑光学引擎的实现......
不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响。对两种主要的光刻投影物......
针对投影物镜在光刻机工作时高精度温度控制要求及其自身体积庞大、质量重、温度难以控制的特点，提出了一种由主控制器、温度采集系......
根据高精度投影光刻物镜的特点,提出了一种运动学支撑结构,并采用实验结合有限元分析的方法研究了该支撑结构引起的透镜光学表面变......
针对投影物镜温度控制系统具有多重扰、多时滞和时间常数较大等问题,搭建了投影物镜温控实验平台;研究了实验平台的结构、激励信号......
基于非成像光学的étendue量对液晶投影显示照明系统和投影物镜进行匹配,对液晶投影物镜的相对照度进行分析,根据étendue......
针对透射式投影物镜中由于不均匀照明产生的像散,提出了采用平面透镜作为主动光学元件以补偿像散的方法。本文对直径为Φ140mm,通......
为满足高分辨率光刻机控制大时间热响应常数投影物镜温度时响应速度和超高精度的要求,设计了前馈——串级水冷投影物镜温控系统。......
由于光刻投影物镜小比率模型光学系统的光学元件数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法已不适用.本文利用灵敏度矩......
针对大面积、高产量和节约型印制电路板（PCB）生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优......
为了实现瞄准镜的瞄准基线变化量在大范围下的高分辨检测,设计一种双远心光路的投影物镜。投影物镜将大靶面、高像素OLED成像在准......
在激光技术应用的许多领域中，对激光光束的质量有着较高的要求。在光束整形技术的器件中，二元光学元件由于其体积小、设计灵活、衍射......
准分子激光是以准分子气体作为激活介质而产生的激光。准分子激光属于紫外波段,波长短,适于高精度的微细加工。同时此波段光波的光......
该文提出一种超大数值孔径光刻投影物镜。该光刻投影物镜作为光刻机曝光系统的核心模块,将掩模版上的图案以4倍缩小倍率成像于硅片......
本文从全息投影系统中三维象的无畸变景深传递要求出发,研究了在该系统中为获得既定视觉特性的高质量屏幕象的投影全息图的最佳记......
为了满足光刻机投影物镜彗差测量精度的要求,提出一种基于套刻误差测试标记的彗差检测技术,分析了彗差对套刻误差测试标记空间像的......
考虑高数值孔径(NA)投影光刻物镜视场较大、波像差分布不均匀,本文提出了一种自动优化设计方法来降低设计过程中出现的全视场最大......
采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场12mm×12mm内波像差......
针对DMD数字光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计出了一套适用于型号0.7XGA DMD的10片式光刻投影物镜。该物镜采用非对称性结构,前组......
